BelNET logo

Электронный портал ядерных знаний Республики Беларусь

Belarusian Nuclear Education and Training Portal - BelNET

eng

rus

Материал портала ядерных знаний BelNET
статья/документ по запросу ресурса "116"
Ионная имплантация
Метод внедрения ускоренных ионов в материалы (металлы, полупроводники, диэлектрики) с целью модификации их структуры и эксплуатационных свойств. Имплантируемые ионы делят на: - легкие: М<20 (В, N, O); - средние: 20<М<60 (Si, P, S, Ar); - тяжелые: М>60 (Zn, As, Se, Sb). Интервал энергий ускоренных ионов разделяют на три диапазона: - низкоэнергетическая имплантация. На практике к низкоэнергетическим относят ионные имплантеры, ускоряющие частицы до энергии 1-10 кэВ. В этом диапазоне энергий доминирующими оказываются ядерные столкновения иона с атомами твердого тела. - среднеэнергетическая имплантация. Наиболее перспективной в машиностроении сегодня представляется имплантация ионов средних энергий. К ионам средней энергии относят частицы с энергией 10^1-10^3 кэВ. - высокоэнергетическая имплантация. К высокоэнергетической ионной имплантации относят обработку ионами, энергия которых превышает 10^3 кэВ.
Загрузить:
aИонная имплантация.tif140932image/tiff2015-11-24 16:27:57
Вход, регистрация
IAEA BSU logo Ministry of Education of the Republic of Belarus Gosatomnadzor The Joint Institute for Power and   Nuclear Research - SOSNY
Ресурсы портала